描述:納米壓印系統,針對大學(xué)實(shí)驗室、研究所微納米加工研究設計,配備溫度控制和低壓控制系統,使用方便,性能穩定可靠;同時(shí)配合專(zhuān)業(yè)設計的壓印模板,可實(shí)現各種微納米圖形加工,特征線(xiàn)寬小于20nm;
品牌 | 其他品牌 |
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應用領(lǐng)域:
光學(xué)器件,顯示器,數據存儲,生物技術(shù),半導體芯片,化學(xué)合成,新型材料等
技術(shù)性能:
*操作方便
*可升級功能
*客戶(hù)可根據需求定制設備功能
*用戶(hù)通過(guò)觸摸屏來(lái)程序化控制處理過(guò)程;
*用戶(hù)可自主設定工藝參數;
*真空吸附模板和Wafer
*具備UV固化功能
*Wafer尺寸:4英寸;
*壓印尺寸:2英寸;
*壓印壓力:0~25PSI(可升級到大100PSI)
*模板尺寸:5×0.09英寸
*典型壓印時(shí)間:小于5分鐘/wafer
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