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          EUV/XUV波前傳感器

          描述:Hartmann波前傳感器(相干和非相干輻射),緊湊結構,可以實現光化性能檢測,包括EUVL 等離子源、自由電子激光、HHG高次諧波束,實時光學調整。

          更新時間:2024-08-20
          產品型號:XUV/EUV
          廠商性質:代理商
          詳情介紹
          品牌其他品牌產地類別進口
          應用領域環保,能源,電子,電氣,綜合

          主要特點

                 Hartmann波前傳感器(相干和非相干輻射)

                 緊湊結構

                 光化性能檢測

                     -EUVL 等離子源

                     -自由電子激光

                     -HHG高次諧波束

                 實時光學調整

                 單個脈沖重復性:λ/116 (wrms),for EUV (λ =13.5 nm)


          EUV/XUV波前傳感器


          技術規格

                 波長范圍:<1nm~60nm(量子轉換涂層)

                 視場:9mmX6.7mm(可選更大尺寸)

                 動態范圍:14Bit

                 Hartmann 盤:precision pinholes ?75μm, 250μm pitch

                 傾角:±10°

                 XY調節范圍:±10mm

                 UHV兼容:CF63法蘭

          EUV/XUV波前傳感器EUV/XUV波前傳感器

          Wavefront measurement of Free Electron Laser FLASH

          (DESY/Hamburg) at λ=13.5nm, before (above) and after

          (below) adjustment of beam line optics (B. Fl?ter, K.

          Mann, K. Tiedtke et al. NIM A 635, S108–S112 (2011) )


          EUV/XUV波前傳感器

          Spot pattern @ λ=1.5 nm

          (LCLS / Stanford)


          EUV/XUV波前傳感器

          Reconstructed intensity profile


          光束測試軟件

          EUV/XUV波前傳感器


          測試基于ISO標準

          Parameter

          Standard

          Beam diameter光束直徑

          ISO 11146

          Divergence

          ISO 11146

          Beam profile光束剖面

          ISO 13694

          Pointing 指向/ pos. Stability位置穩定性

          ISO 11670

          M2 質量因子/ Focusability聚焦性

          ISO 11146

          Wavefront 波前 / Phase distribution相位分布

          ISO 15367

          Coherence 相干

          -

          Around 20 various camera types are supported





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