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薄膜/涂層殘余應力儀（kSA MOS Coating Stress tester）采用非接觸MOS激光技術(shù)；不但可以對樣品表面應力分布進(jìn)行統計分析，而且還可以進(jìn)行樣品表面二維應力、曲率成像分析；并且這種設計始終保證所有陣列的激光光點(diǎn)始終在同一頻率運動(dòng)或掃描，從而有效的避免了外界振動(dòng)對測試結果的影響；同時(shí)提高了測試的分辨率；適合各種材質(zhì)和厚度薄膜應力分析；