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薄膜應力測試系統（kSA MOS Film Stress Measurement System），又名薄膜應力計或薄膜應力儀！ 采用非接觸MOS激光技術(shù)；不但可以對樣品表面應力分布進(jìn)行統計分析，而且還可以進(jìn)行樣品表面二維應力、曲率成像分析；并且這種設計始終保證所有陣列的激光光點(diǎn)始終在同一頻率運動(dòng)或掃描，從而有效的避免了外界振動(dòng)對測試結果的影響；同時(shí)大大提高了測試的分辨率；適合各種材質(zhì)和厚度。