原位薄膜應力測試儀，又名薄膜殘余應力測試儀或薄膜應力儀，是專(zhuān)門(mén)用于測試和研究薄膜材料和薄膜制備工藝的*的工具。

　　薄膜中應力的大小和分布對薄膜的結構和性質(zhì)有重要的影響，可導致薄膜的光、電、磁、機械性能改變。例如，薄膜中的應力是導致膜開(kāi)裂或與基體剝離的主要因素，薄膜中存在的殘余應力很多情況下影響MEMS器件結構的特性，甚至嚴重劣化器件的性能，薄膜的內應力對薄膜電子器件和薄膜傳感器的性能有很大的影響.因此，薄膜應力研究在薄膜基礎理論和應用研究中起到重要的作用，薄膜應力的測量備受關(guān)注。原位薄膜應力測試儀再例如在硬質(zhì)薄膜領(lǐng)域，金屬氮化物、氧化物、碳化物等硬質(zhì)薄膜因具有*的耐磨、耐腐蝕等特性，被廣泛應用于金屬材料的防護．硬質(zhì)薄膜的主要制備方法包括物理氣相沉積和化學(xué)氣相沉積技術(shù)．研究發(fā)現，沉積態(tài)硬質(zhì)薄膜中存在較大的殘余應力，而且沿層深分布不均勻；該殘余應力對硬質(zhì)薄膜一基體系統的性能影響很大，較準確地測量硬質(zhì)薄膜的殘余應力，系統研究它與沉積工藝的關(guān)系，對優(yōu)化硬質(zhì)薄膜基體系統的性能具有重要的意義。

　　原位薄膜應力測試儀產(chǎn)品功能和特點(diǎn)：

　　1.自動(dòng)采集分析數據功能；

　　2.自動(dòng)掃查樣品邊緣，定位樣品中心；

　　3.自動(dòng)計算出曲率半徑值和薄膜應力值；

　　4.對原始表面不平直的基片表面的薄膜，可采取原位測量的方式，計算薄膜應力值。