一、產(chǎn)品優(yōu)勢:
1.控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過(guò)沖,性能可靠,操作簡(jiǎn)單。
2.氣路快速連接法蘭結構采用本公司*的知識產(chǎn)權設計,提高操作便捷性。
3.中真空系統具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統采用高壓強,耐沖擊分子泵.
防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長(cháng)系統使用壽命。
二、注意點(diǎn):
CVD石墨烯制備雙溫區滑軌式CVD系統爐管內氣壓不可高于0.02MPa
當爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
石英管的長(cháng)時(shí)間使用溫度<1100℃
對于樣品加熱的實(shí)驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。
石墨烯制備系統(CVD)主要用于合成石墨烯薄膜和各種碳納米材料,有一個(gè)水平石英管式爐。一個(gè)催化劑襯底(通常是銅鋁箔)放置在爐里,甲烷氣體或乙炔氣體從外部低流量和低壓地注入,在催化劑的襯托上形成石墨烯薄膜。
快速冷卻對于形成高質(zhì)量的石墨烯薄膜非常重要,快速冷卻可以抑制碳過(guò)量的沉積在催化劑金屬箔上 (如銅或鎳箔);系統配備了快速冷卻系統。管式爐向一側滑動(dòng)30mm到反應爐,加熱的爐可以遠離樣品,從而快速冷卻樣品。通過(guò)非常簡(jiǎn)單的方式達到快速冷卻的效果。