kSA SpectR 光譜反射率測試設備是一種用于測量光譜絕對反射率，L*a*b*成色值和生長(cháng)速率的非接觸式測量設備。該工具具有多種在線(xiàn)監控和過(guò)程控制的應用功能，包括垂直腔表面發(fā)射激光器（VCSEL），分布式布拉格反射器（DBR）和其他一些復雜的設備結構。該設備主要應用于監控測量sputtering，MBE和MOCVD等薄膜生產(chǎn)研究。

kSA SpectR 光譜反射率測試設備的光學(xué)鏡組被配置為鏡面反射的幾何形狀。在這種測量原理中，薄膜每生長(cháng)出一個(gè)新layer，程序就會(huì )自動(dòng)擬合，將已有的所有基底和薄膜layer視為一個(gè)新的虛擬基底。kSA SpectR可以同時(shí)以多個(gè)波長(cháng)進(jìn)行測量，每個(gè)波長(cháng)都具有潛在的特性。此設備可在選定的波長(cháng)范圍內測量自定義光譜特征，如反射率的最小值、最大值、拐點(diǎn)或基線(xiàn)散射水平。

測量實(shí)例

850 nm DBR的光譜反射率

在GaAs襯底上生長(cháng)250nm的AlAs和500nm的GaAs時(shí)，532和940nm下的反射率及其擬合曲線(xiàn)

AlAs生長(cháng)期間的生長(cháng)速率，光學(xué)常數和反射率實(shí)時(shí)擬合曲線(xiàn)

AlAs和GaAs生長(cháng)的未經(jīng)校正的高溫計測量結果和經(jīng)過(guò)校正的ECP溫度

GaAs薄膜生長(cháng)過(guò)程中單個(gè)反射率振蕩周期圖